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氢氟酸废液处理

一、氢氟酸废液介绍:

化学蚀刻减薄技术是当前玻璃薄减薄行业所采用的主流方式,采用该技术的生产过程中的重要工艺环节如玻璃刻蚀等,要使用氢氟酸、硫酸、盐酸、乙醇、UV胶等化学品,将产生大量含氢氟酸、硫酸、盐酸的酸性废水,以及抛光工序将产生SS超标的悬浮物废水等。本项目工程投产后如不同期进行废水治理,将会严重影响周边环境,不符合如今越来越严格的环保要求。

TFT-LCD研磨减薄废水废水按含氟废水、一般废水、悬浮物废水三大块进行处理。主要的污染物是pH、HF等等。主流程也以除氟和pH调整为主线。

 

二、氢氟酸废液处理工艺:

1、 含氟废水处理系统:包含高氟废水预处理系统和低氟废水处理系统。项目蚀刻槽定期倒槽产生的高浓度氟废水含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质,主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。预处理后的高浓度含氟废水与低浓度含氟废水一同排入低氟废水处理系统处理。低浓度含氟废水主要源自蚀刻减薄线的清洗工序,废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质。

含氟废水处理系统工艺流程:

高浓度含氟废水收集池→高氟废水自吸泵→高氟废水混凝槽→高氟废水沉淀池→低浓度含氟废水收集池→低氟废水自吸泵→低氟废水混凝槽→低氟废水沉淀池→中和反应池→排放

 

2、一般废水最终中和处理系统。清洗废水主要来源于前清洗、抛光后清洗工序,废水中含有清洗剂,主要污染物为pH、COD、BOD5、SS、LAS等;反洗水就是纯水系统反洗介质过滤器和活性炭过滤器排水,主要含原自来水中的离子(盐类)和SS;冷却塔循环水排水主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS。项目清洗工序产生的一般清洗废水,纯水制备工序产生的反冲洗废水和冷却塔排水,水质均较清洁,均直接排入最终中和系统处理。

采用中和法根据废水水质情况自动投入酸或碱液,在强力搅拌下进行混合、反应,废水经处理达到排放标准后排放。如果水质达不到排放标准,再返回各处理系统进行二次处理。

一般废水最终中和处理系统工艺流程:

       PH调节加药┐

中和处理系统废水收集及反应池→最终排放池

 

3、悬浮物废水处理系统。本废水主要来源于抛光工序,废水中含有少量抛光粉(主要成分为氧化铈),主要污染物为SS。本设计采用新型TMF管式微滤固液分离膜系统进行悬浮物废水处理。该固液分离工艺成熟稳定(已有多年成功运行工程案例)、具有针对性强、效果显著运行成本低自动控制先进、稳定、可靠,操作及检修方便等特点。选用美国POREX公司的废水专用管式微滤膜,PVDF膜材质,抗氧化、耐强酸碱、清洗方便。POREX微滤膜采用特殊工艺制造,表面平整光滑、微孔率高,可在100磅的冲击压力下正常运行,不会出现滤膜破裂、颗粒穿透现象,使用寿命可达5年以上。

悬浮物废水处理系统工艺流程:

悬浮物废水收集池→自吸泵→调节水箱→增压泵→浓缩水箱→循环泵→TMF系统→排放(回用)

污泥加压泵→压滤机→干泥打包外运

 

TMF管式微滤膜是一种可以替代传统沉淀池或澄清器的膜分离装置,能获得极佳的透过水性能。

微滤膜通过膜来把沉淀物颗粒从水中分离出来,而不需要象沉淀池那样一定要事先使得沉淀物颗粒有足够大的比重和尺寸。在之前的化学反应中,只需要将溶解态的离子变成不溶的颗粒,即可用微滤膜进行分离。管式微滤膜的透过水在浊度方面远远优于沉淀池出水,甚至优于沉淀池+砂滤器的出水,而接近超滤产水浊度。


TMF膜装置组成:



112支的膜组件串连成为一个膜列,进水从第一支膜组件的膜管内流入,从最后一支膜组件的膜管内流出,回流到浓缩水箱,透过膜的过滤水从流经的每一支膜组件的产水口流出。

由1至6列膜列并排连接成为一台膜装置,进水通过母管向支管配水的方式分别流入各个膜列,各个膜列的回流水通过支管汇集到母管流回浓缩水箱,各膜列的产水也通过支管到母管的收集流向产品水箱。


  

TMF膜技术详见核心工艺介绍)


三、我司优势:

出水水质可稳定达到排放标准

TMF膜系统取代沉淀池,占地小,效率高

自动化程度高,无人值守,远程监控

运行费用低,经济效益好,

清洗频率低,系统寿命长,

服务响应时间短,24小时在线

 

 

四、氢氟酸废液处理项目工程案例:











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